單晶硅撓性加速度計

主要性能指標:

外形尺寸:25.4mm×25.4mm×28mm

重量:<60

測量范圍:±36g

偏值重復性:<20ug

標度因數重復性:<10ppm

閾值:<0.5ug

帶寬:>500Hz

l  工作溫度:–45℃~85

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